[00238796]一种制备氧化钒薄膜的溅射设备
交易价格：
面议
所属行业：
其他
类型：
实用新型专利
技术成熟度：
正在研发
专利所属地：中国
专利号：CN201020617985.X
交易方式：
技术转让
技术转让
技术入股
联系人：
四川钒钛产业技术研究院
进入空间
所在地：四川攀枝花市
- 服务承诺
- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
本实用新型公开了一种制备高重复性氧化钒薄膜的溅射设备，它包括溅射腔室，溅射腔室上设有进气管，它还包括通过进气管与溅射腔室连接的配气室。本实用新型通过溅射腔室连接配气室，在镀膜过程中从配气室内引气，确保在镀膜过程中维持溅射腔室内氧气分压恒定，进而制备出高重复性的氧化钒薄膜，提高所制备氧化钒薄膜的批次间的一致性，满足氧化钒焦平面探测器批量生产需要。
本实用新型公开了一种制备高重复性氧化钒薄膜的溅射设备，它包括溅射腔室，溅射腔室上设有进气管，它还包括通过进气管与溅射腔室连接的配气室。本实用新型通过溅射腔室连接配气室，在镀膜过程中从配气室内引气，确保在镀膜过程中维持溅射腔室内氧气分压恒定，进而制备出高重复性的氧化钒薄膜，提高所制备氧化钒薄膜的批次间的一致性，满足氧化钒焦平面探测器批量生产需要。
