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[00231122]一种PMO薄膜的制备方法及应用

交易价格: 面议

所属行业: 专用化学

类型: 发明专利

技术成熟度: 正在研发

专利所属地:中国

专利号:CN201510648357.5

交易方式: 技术转让 技术转让 技术入股

联系人: 中国科学院深圳先进技术研究院

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所在地:广东深圳市

服务承诺
产权明晰
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
如实描述
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技术详细介绍

本发明涉及一种PMO薄膜的制备方法及应用;其中制备方法包括如下步骤:(1)提供酰氯化合物;(2)制备前驱体分子溶液;将所述酰氯化合物、3-氨基丙基三乙氧基硅烷及三乙胺混合,反应制得前驱体分子溶液;酰氯化合物:3-氨基丙基三乙氧基硅烷:三乙胺的摩尔比为0.5~1:1~2:1.2~2.4;前驱体分子的结构式为:(3)制备涂膜溶液:向前驱体分子溶液中加入模板剂、溶剂和稀盐酸,制得涂膜溶液,模板剂的添加量为0~100%;(4)制备PMO薄膜;将涂膜溶液涂于基底表面,固化,制得PMO薄膜。本方法通过增大分子孔隙体积、降低分子极性、提高交联度,达到新型PMO薄膜介电常数的降低和力学性质的保障。
本发明涉及一种PMO薄膜的制备方法及应用;其中制备方法包括如下步骤:(1)提供酰氯化合物;(2)制备前驱体分子溶液;将所述酰氯化合物、3-氨基丙基三乙氧基硅烷及三乙胺混合,反应制得前驱体分子溶液;酰氯化合物:3-氨基丙基三乙氧基硅烷:三乙胺的摩尔比为0.5~1:1~2:1.2~2.4;前驱体分子的结构式为:(3)制备涂膜溶液:向前驱体分子溶液中加入模板剂、溶剂和稀盐酸,制得涂膜溶液,模板剂的添加量为0~100%;(4)制备PMO薄膜;将涂膜溶液涂于基底表面,固化,制得PMO薄膜。本方法通过增大分子孔隙体积、降低分子极性、提高交联度,达到新型PMO薄膜介电常数的降低和力学性质的保障。

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