[00228953]一种MEMS甲烷传感器的催化剂载体的制备装置
交易价格：
面议
所属行业：
化工生产
类型：
实用新型专利
技术成熟度：
正在研发
专利所属地：中国
专利号：CN201521064032.4
交易方式：
技术转让
技术转让
技术入股
联系人：
徐州中国矿业大学大学科技园有限责任公司
进入空间
所在地：江苏徐州市
- 服务承诺
- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
一种MEMS甲烷传感器的催化剂载体的制备装置，包括磁力搅拌器，磁力搅拌器上设有内装有纳米氧化铝溶胶的容器，容器内的设有磁力搅拌子、高纯铝片和硅圆片，高纯铝片和硅圆片分别经导线与直流电压源相连，高纯铝片连接直流电压源的正级，硅圆片连接直流电压源的负极。硅圆片上制备有众多的MEMS甲烷传感器加热元件，每个MEMS甲烷传感器加热元件包括两个金属极板及与之相连的加热器；硅圆片边缘的总金属连接端通过硅圆片上的金属线与所有MEMS甲烷传感器加热元件的金属极板相连；其设备简单，容易操作，可批量制备催化剂载体的制备装置，制备的催化剂载体涂层均匀、稳定、一致性好。
一种MEMS甲烷传感器的催化剂载体的制备装置，包括磁力搅拌器，磁力搅拌器上设有内装有纳米氧化铝溶胶的容器，容器内的设有磁力搅拌子、高纯铝片和硅圆片，高纯铝片和硅圆片分别经导线与直流电压源相连，高纯铝片连接直流电压源的正级，硅圆片连接直流电压源的负极。硅圆片上制备有众多的MEMS甲烷传感器加热元件，每个MEMS甲烷传感器加热元件包括两个金属极板及与之相连的加热器；硅圆片边缘的总金属连接端通过硅圆片上的金属线与所有MEMS甲烷传感器加热元件的金属极板相连；其设备简单，容易操作，可批量制备催化剂载体的制备装置，制备的催化剂载体涂层均匀、稳定、一致性好。
