[00228949]一种镍基催化剂纳米薄膜的制备方法
交易价格：
面议
所属行业：
化工生产
类型：
发明专利
技术成熟度：
正在研发
专利所属地：中国
专利号：CN201410211474.0
交易方式：
技术转让
技术转让
技术入股
联系人：
徐州中国矿业大学大学科技园有限责任公司
进入空间
所在地：江苏徐州市
- 服务承诺
- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
本发明公开了一种镍基催化剂纳米薄膜的制备方法，首先利用磁控溅射技术在基底表面沉积一定厚度的镍纳米薄膜；然后将薄膜样品放置在三维移动平台上，利用激光干涉对镍纳米薄膜进行织构化加工，将镍纳米薄膜加工成规则分布的图案；最后将织构化加工后的薄膜样品放入管式炉中，通入氨气以对镍纳米薄膜进行刻蚀，最终在镍纳米薄膜表面收缩成镍基的纳米颗粒。本发明使用激光干涉图案代替传统光刻中的掩膜板，降低制造掩膜板的时间和成本，通过激光干涉对镍基薄膜进行加工，有助于氨气刻蚀时颗粒分布的均匀性，通过改变干涉图案尺寸的大小和氨气的通入流速可以控制颗粒尺寸的大小，实现颗粒尺寸和疏密程度可控。
本发明公开了一种镍基催化剂纳米薄膜的制备方法，首先利用磁控溅射技术在基底表面沉积一定厚度的镍纳米薄膜；然后将薄膜样品放置在三维移动平台上，利用激光干涉对镍纳米薄膜进行织构化加工，将镍纳米薄膜加工成规则分布的图案；最后将织构化加工后的薄膜样品放入管式炉中，通入氨气以对镍纳米薄膜进行刻蚀，最终在镍纳米薄膜表面收缩成镍基的纳米颗粒。本发明使用激光干涉图案代替传统光刻中的掩膜板，降低制造掩膜板的时间和成本，通过激光干涉对镍基薄膜进行加工，有助于氨气刻蚀时颗粒分布的均匀性，通过改变干涉图案尺寸的大小和氨气的通入流速可以控制颗粒尺寸的大小，实现颗粒尺寸和疏密程度可控。
