技术详细介绍
本发明公开了一种阴极多自由度运动微电铸装置（专利号201310239145.2），在装置底座(1)上设有安装平台(11)，电铸槽(3)设在装置底座(1)上，安装平台(11)上设有阴极水平往复平移机构，阴极水平往复平移机构上设有阴极垂直升降机构，阴极垂直升降机构上设有阴极定轴旋转机构，阴极装夹单元(13)安装在阴极定轴旋转机构上，阳极装夹单元(21)和阴极装夹单元(13)竖直置于电铸槽(3)内呈彼此面对。本发明的阴极运动系统可实现电铸过程中阴极在电铸液中水平往复移动、定轴转动及两种运动的耦合，并引入了随动式屏蔽挡板，能有效改善铸层厚度均匀性、消除电铸过程中析出气体对铸件质量的影响。同时运动控制系统可控制运动参数，最大限度提高电铸的效率，获得致密、均匀铸层。