技术详细介绍
本发明公开了一种多晶硅铸锭炉（专利号201310693532.3），包括：炉体、经过所述炉体底部的冷却水夹层、以及分别与所述冷却水夹层连通的冷却水进水口和冷却水出水口，其中，在所述冷却水进水口和冷却水出水口处分别设有三通阀用于导入或导出冷却水，并可连接外部大气，在所述炉体底部设有从外部开启的泄水阀，所述泄水阀与冷却水夹层接通。本发明的多晶硅铸锭炉在发生坩埚硅液泄漏时，可以及时将炉体夹层内的冷却水排空，从而杜绝了硅液泄漏后发生爆炸的危险。
本发明公开了一种多晶硅铸锭炉（专利号201310693532.3），包括：炉体、经过所述炉体底部的冷却水夹层、以及分别与所述冷却水夹层连通的冷却水进水口和冷却水出水口，其中，在所述冷却水进水口和冷却水出水口处分别设有三通阀用于导入或导出冷却水，并可连接外部大气，在所述炉体底部设有从外部开启的泄水阀，所述泄水阀与冷却水夹层接通。本发明的多晶硅铸锭炉在发生坩埚硅液泄漏时，可以及时将炉体夹层内的冷却水排空，从而杜绝了硅液泄漏后发生爆炸的危险。