技术详细介绍
本发明涉及一种锆钛酸钡钙无铅梯度厚膜的制备方法（专利号2014 1 0226234.8），该锆钛酸钡钙的化学通式为：(1-x)Ba(Ti0.8Zr0.2)O3-x(Ba0.7Ca0.3)TiO3。应用溶胶凝胶法制备不同成分的锆钛酸钡钙溶胶，依次在Pt/Ti/SiO2衬底上通过旋涂法涂覆，制备BZT-xBCT梯度厚膜，经过热处理后得到无铅锆钛酸钡钙梯度厚膜。通过化学反应设计与结构工艺控制，材料组分沿厚度方向呈梯度变化，各层材料成分均匀，表现出宏观组织的不均匀性与微观组织的连续性，该梯度厚膜在常温下介电调谐性好、温度稳定性好，达到了对材料进行介电特性调控的目的。该方法简单可靠，工艺重复性好，可操作性强。本发明制备的锆钛酸钡钙无铅梯度厚膜无孔隙、无裂纹、均匀度一致，与单一配方样品相比，其介电性能具备高可调性、适中的介电常数和热稳定性。