一种碳化硅纳米线及其阵列的制备方法(专利号201210166884.9),属于纳米技术领域。包括如下步骤:(1)将正硅酸乙酯加入乙醇水溶液中,向其中滴入氨水,混合均匀后,再向其中加入纳米碳粉,混合均匀;(2)凝胶化处理,所得凝胶经干燥、研磨,得到干凝胶粉末;(3)取上述干凝胶粉放入氧化铝舟中一侧,单晶硅片放入氧化铝舟的另一侧,将所述氧化铝舟放入氧化铝管中,其中所述氧化铝舟上的干凝胶粉居于氧化铝管的正中央,单晶硅片置于氧化铝管中的下风口处;在氩气气氛下,升温,恒温反应2~6小时,反应结束后,降至室温,在氧化铝管壁上得到碳化硅纳米线,在单晶硅片上得到纳米线阵列。本发明提供了一种简单的、反应条件可控的SiC纳米线及其阵列的制备方法。