技术详细介绍
太阳能电池背电极钝化技术（PERC）是一种提高太阳能单晶/多晶硅电池的技术。通过在电池背电极印刷之前沉积一层SiO2/Al2O3纳米薄膜，减少电荷的复合从而增加电极对电荷的收集。目前这种技术还不成熟。本技术采用改进的反应磁控溅射镀膜技术，具有生产效率高、沉积薄膜质量好（致密度、纯度），沉积温度低（100-200℃）。因此非常适合高效率太阳能晶硅电池的背电极钝化镀膜技术。
本技术包括镀膜设备的设计和工艺技术的优化。根据客户产能、镀膜性能要求（涂层钝化效果），设计出合适的设备和高效、稳定工艺。本技术除了背面钝化之外，还可以进行正面减反射膜(SiN)或者钝化涂层的镀膜。甚至可以开发出多层减反射膜系（SiN+SiO2）。
溅射镀膜设备是一种真空镀膜技术，设备增加的成本会通过高效率的产能和提供多元化的应用得到大幅度降低。