[01922447]大尺寸难熔等离激元薄膜器件制备技术
联系人：于世远
所在地：浙江宁波市
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技术详细介绍
具有高温与化学稳定性和强光—电子—物质相互作用的难熔等离激元器件，可被应用在超分辨成像、纳米光学操控、光热转换、光电催化等领域。然而难熔等离激元器件的大规模、低成本、可控制备是目前存在的重大技术难题。本项目基于低成本的近原子级精度的磁控溅射外 延系统，巧妙利用界面工程与应变工程的技术原理，实现了晶圆级（2 英寸）、高质量（具有单晶特性的）过渡金属氮化物等离激元薄膜器件的制备。先后开发了基于过渡金属氮化物薄膜、超晶格、垂直纳米结构阵列的等离激元双曲色散超材料、高分子探测水平的表面增强拉曼散射基底、高性能等离激元完美吸收体与高性能光热转换器件。