[01920736]介电膜及其制备方法
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技术详细介绍
本发明涉及介电膜及其制备方法。制备方法包括采用第一材料和第二材料的界面电荷积累模型,获得所述第一材料和所述第二材料的厚度比以及所述第一材料和所述第二材料之间的界面的漏电电荷面密度；制备由所述厚度比的所述第一材料和所述第二材料形成的介电膜。本发明的介电膜相比于原始薄膜有效的改善了其漏电表现,降低了能量损耗并提升了击穿电场从而提升了储能特性。