[01914820]基于 X 射线反射的纳米薄膜厚度探测技术
联系人：杜晓明
所在地：辽宁沈阳市
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技术详细介绍
采用低角度 X 射线反/衍射方法测试纳米单层膜和多层膜的膜层厚、膜层化 学成分及膜层间的界面粗糙度。与传统薄膜厚度测试手段相比，测试速度快、数 据统计性好、精度高、不受薄膜成分及是否透明的影响，测试前样品无需进行预处 理。同时也可获得多层膜各膜层厚度、各膜层间的界面宽度及界面扩散等详细微观 结构信息。可广泛应用于硬质陶瓷膜、金属膜及半导体光电薄膜等的厚度和微观结 构的分析。