[01848558]纳米晶硅-氧化铝/氧化硅热电薄膜材料的制备方法
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技术详细介绍
一种纳米晶硅-氧化铝/氧化硅热电薄膜材料的制备方法,由清洗石英玻璃衬底、真空蒸镀铝膜、退火步骤组成。采用了成本比较低的金属铝作为热蒸发材料,所制备的纳米晶硅-氧化铝/氧化硅热电薄膜材料的电阻率、塞贝克（Seebeck）系数达到或优于现有的热电薄膜材料的性能,本发明与现有热电材料及其制备方法相比,具有制备方法简单、温度较低、生产成本低,对环境不造成污染,可在制备纳米晶硅-氧化铝/氧化硅热电薄膜材料的生产中推广使用。