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技术详细介绍
项目解决的主要问题：
滤波器的应用领域扩展到高频；使滤波器具有极低的损耗及很高的品质因数；可处理大的功率，且频率特性的湿度系数明显低于SAW滤波器；与以往滤波器相比，尺寸大幅度减小。
项目主要内容：
过优化溅射条件，择优选取底电极。制备具有平滑表面、强C轴取向和大压电系数的AIN薄膜，运用电极－AIN薄膜－电极的夹心结构，通过腐蚀衬底生成空腔，减少声能在衬底中的损耗，制作高品质因数、大压电耦合系数，适用于射频领域的AIN薄膜腔声谐振器。
项目主要目标：
制备出强C轴取向的AIN薄膜；制备出高品因数、大压电耦合系数的AIN薄膜腔声谐振器；薄膜腔声谐振器工作频率应在400MHz～2.2GHz。品质因数大于400，压电耦合系数接近6.5%。