[01820830]激光诱导铌酸锂∕金刚石膜SAW器件的研究
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技术详细介绍
项目利用金刚石膜独特的优异性能研制高频金刚石薄膜声表面波滤波器样件，对金刚石、铌酸锂各层薄膜的制备和性能进行了研究，在此基础上成功设计了集成了铌酸锂／IDT／金刚石／硅结构的SAW滤波器，其中心频率可达2.5GHz，相对传统的材料LiNbO_3晶体的SAW表面波滤波器中心频率大大提高。 该研究的铌酸锂／IDT／金刚石的多层膜结构声表面波滤波器中心频率相对传统的材料LiNbO_3的SAW表面波滤波器中心频率大大提高，可在雷达、通信、导航、识别和电子战等领域获得广泛的应用。同时，我们对金刚石、铌酸锂薄膜的研究和制备促进了我国复合膜结构研制和发展，减小了与国外的差距水平，对金刚石振荡器、延迟线、放大器、声光器件和声摄像装置等声表面波器件的研制将起到很大的促进作用。