[01793386]太阳能电池玻璃镀膜设备(真空镀膜设备)

项目简介：本设备主要是利用物理溅射的方法实现在玻璃基片上完成太阳能电池的镀膜工艺。主要包括传送系统、真空系统、阴极溅射系统和工艺控制系统四个部分，其中传送系统完成自动将玻璃基片装载到基片框架上，通过磁流体、同步轮、同步带和导向，由电机驱动往复运行。在真空系统中转板门阀使真空锁室、缓冲室和真空镀膜室分开，同时也使真空锁室与大气隔离开，真空锁室配有双级罗茨泵+滑阀泵机组，进行快速抽空降压，真空度可以达到4E-2Pa，真空缓冲室和真空镀膜室是由涡轮分子泵+罗茨泵+滑阀泵机组抽至高真空状态的，真空度可以达到8E-4Pa。溅射源是磁控阴极，磁场经过特殊设计，采用强磁场增大束缚靶的等离子体，使其不能触及基片，减少了“溅射损伤”。靶材直接粘接在铜背板上进行直流溅射，减少了靶面弧光发电，拓宽了工艺范围。电气控制系统主要是针对镀膜工艺流程的控制和在线检测。　　技术特征： 1、真空度小于8E-4Pa； 2、惰性气体充气控制精度±1%； 3、基片架移动速度最大50mm/s。　　效益分析：由于近年来国家在太阳能利用方面投资力度大、各种风险投资也非常看好该领域，所以真空镀膜设备需求量激增，该生产线根据工艺不同投资不等，一般投资在2000万（不包括净化车间），收益根据生产的产品有所不同，如南玻的液晶生产线毛利润10万元/天左右。