[01788121]金刚石薄膜压力和温度传感器研制
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技术详细介绍
探索出利用灯丝法CVD制取应力敏元件的掺硼金刚石的合成工艺参数，表面处理、退火工艺与组织结构及各项性能间变化规律，为压力和热敏元件的合成、应用、生产提供实验和理论依据；研制出掺硼金刚石薄膜压力和热敏元件（根据掺硼金刚石薄膜的热敏特性，可制出热敏元件，由此得到温度传感器）实用样品，并使之在压力和温度传感器中得到应用；由于压力和温度传感器应用范围和种类很多，因此可以研制各种载荷范围和种类的实用型掺硼金刚石薄膜压力和温度传感器，作为产品进行试生产。