技术详细介绍
采用飞秒钛宝石激光和离子交换技术相结合，改变一块微小玻璃折射率分布，形成微透镜与光波导功分器集成的光子器件。利用该方法进行透镜光波导集成器件的优化设计，完成透镜光波导集成器件的掩膜板的制作；系统地研究了光波导器件工艺，通过实验验证设计的正确性，研制出各项技术指标优良的透镜光波导集成产品；建成一条集设计、光刻、氧化、成膜、刻蚀、退火、切片、抛光、耦合、封装、测试于一体的透镜光波导集成器件工艺线和一套封装系统，为透镜光波导集成器件的量产打下了良好的基础；进行热稳定透镜光波导集成器件模块制作技术的研究，解决热稳定透镜光波导集成器件模块的可靠性等问题，成功制作了热稳定透镜光波导集成器件芯片。