技术详细介绍
一、项目特点和技术指标
特点：
1． 可实现大面积光子晶体；
2． 二维光子晶体的晶粒结构可控制为六边形，利于ICP刻蚀；
3． 操作简单，设计灵活，成本低，能适用于大批量生产；结合ICP刻蚀工艺，对于提高LED的外量子效率潜力很大
二、技术成熟程度
用该系统在材料上已实现了二维和三维结构的光子晶体。目前正实验应用该仪器将光子晶体结构置入LED中，以实现LED的外量子效率达到20%-30%。
三、应用范围
高效率LED
四、投产条件
投产条件：
合作方应是以制作高效率LED为主的公司
五、合作方式
合作开发