本实用新型公开了一种超临界流体注入装置,由气体冷却预压部分,超临界流体形成部分,以及压力温度流量反馈部分与控制部分组成,压力流量温度反馈部分由两个压力传感器、两个温度传感器和一个计数器组成,压力温度流量控制部分由微控制器和固态继电器组成。待注气体经制冷机冷却后通过两个增压泵进行二级增压,然后通过加热器加热,形成超临界流体注入到待注气物体中。压力温度流量反馈部分将检测到的流体的压力、温度、流量信号输入到微控制器,由微控制器控制固态继电器调节两个空压机、制冷机以及加热器,完成压力、温度、流量的精确控制,从而实现超临界流体的恒压恒流量注入,可应用于如聚合物CO2超临界发泡等对气体注入有严格要求的系统中。