技术详细介绍
透明材料激光内部雕刻装置
本发明提供了一种透明材料激光内部雕刻装置,包括激光器、扩束镜、第一振镜、第二振镜、F-θ聚焦镜和计算机,激光器包括全反镜、声光调Q器件、半导体泵浦模块、倍频晶体、输出镜,全反镜镀有基频光全反膜层,或者同时镀有基频光和倍频光双全反膜层,输出镜同时镀有对基频光透过率为4%～10%和对倍频光全透的膜层,激光器产生1～10千赫兹调Q倍频激光脉冲输出;计算机控制第一振镜、第二振镜分别在X、Y方向上快速振动,使经过扩束镜的激光束在XY方向扫描运动,控制一维电控位移台实现F-θ聚焦镜或透明材料在Z方向上的运动。本发明激光输出模式好,光功率稳定、效率高;雕刻速度快,适合进行大幅面透明材料的雕刻。