[01385188]AlGaN基蓝宝石衬底的紫外LED器件的制作方法
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技术详细介绍
本发明公开了一种AlGaN基蓝宝石衬底的紫外LED器件及制作方法,它涉及到微电子技术领域,主要解决出射光效率低的问题。该器件自下而上依次包括低温AlN成核层、高温AlN成核层、本征AlGaN外延层、n-AlGaN势垒层、有源区、p-AlGaN势垒层、低Al组分p型AlGaN层、p型GaN冒层,以及在p型GaN冒层设有的窗口区。该器件通过干法刻蚀p-GaN冒层至低Al组分的p-AlGaN,形成了圆柱状的出射光窗口,其后对其进行光辅助湿法刻蚀,将柱状出射光窗口变为类半球状窗口,在增大了窗口的出射孔径的同时,又能使窗口区的材料表面得到了粗化,极大的提高了出射光的功率和效率。本发明工艺简单,重复性好,可靠性高,可用于水处理,医疗、生物医学场合以及白光照明中