[00136529]一种高纯氮化硅的回收方法
交易价格:
面议
所属行业:
太阳能
类型:
发明专利
技术成熟度:
可规模生产
专利所属地:中国
专利号:200910186468.3
交易方式:
技术转让
联系人:
江西赛维LDK太阳能高科技有限公司
进入空间
所在地:江西新余市
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- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
本发明涉及光伏或半导体领域中的一种氮化硅的回收方法,特别是一种高纯氮化硅的回收方法,回收得到的高纯氮化硅可以再次应用于多晶硅生产用坩埚涂层的制备或其他领域;采用废弃的石英坩埚表面的氮化硅涂层作为氮化硅原料,氮化硅原料含有二氧化硅、硅、金属等杂质,其特征在于:将氮化硅原料经过化学溶液处理后得到高纯氮化硅;氮化硅原料的纯度以重量计含有氮化硅50%-99.98%,二氧化硅、硅、金属等杂质0.02%-50%;不仅实现了高纯氮化硅的回收,还解决了固体废弃物的污染问题。
本发明涉及光伏或半导体领域中的一种氮化硅的回收方法,特别是一种高纯氮化硅的回收方法,回收得到的高纯氮化硅可以再次应用于多晶硅生产用坩埚涂层的制备或其他领域;采用废弃的石英坩埚表面的氮化硅涂层作为氮化硅原料,氮化硅原料含有二氧化硅、硅、金属等杂质,其特征在于:将氮化硅原料经过化学溶液处理后得到高纯氮化硅;氮化硅原料的纯度以重量计含有氮化硅50%-99.98%,二氧化硅、硅、金属等杂质0.02%-50%;不仅实现了高纯氮化硅的回收,还解决了固体废弃物的污染问题。