[01350767]一种NiTiO3薄膜的制备方法
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技术详细介绍
一种NiTiO3薄膜的制备方法,将六水硝酸镍加入乙醇得溶液记为A;向A溶液中加入钛酸四丁酯、草酸、水和乙酰丙酮得溶液记为B,将经过活化处理的硅基板放入B溶液中;将B溶液放入紫外光一微波仪中照射一定时间后取出硅基片,将硅基片用丙酮清洗后放入干燥箱中干燥,即得到了不含杂质的NiTiO3薄膜。本发明利用草酸为螯合剂在较低温度下制备出了不含杂质的NiTiO3薄膜。制得的NiTiO3薄膜晶粒尺寸较小,并且不含任何杂质,制备NiTiO3薄膜反应周期短,重复性好,制备简单,操作方便,原料易得,制备成本较低。