[01344804]一种碳化硅发热元件冷端部的制造方法
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技术详细介绍
本发明涉及一种碳化硅发热元件冷端部陶瓷材料的制造方法,特征是包括11个工艺步骤;碳化硅粉料、石油焦粉、石墨粉、活性炭粉、硅粉的将质量分数分别为0.30～0.90、0.05～0.50、0～0.20、0～0.10、0～0.30;添加醇溶性、水溶性酚醛树脂质量分数为0.05～0.25、0.01～0.20;坯体在1450～1850℃反应烧结,最终制备得到主晶相为α-SiC、β-SiC和游离硅的致密发热元件冷端部。本发明制备的碳化硅发热元件冷端部适用于各种不同规格、不同形状的冷端部制造,性能均匀、稳定,远高于目前的技术。