[01316632]碲锌镉像素探测器电极的钝化方法
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技术详细介绍
本发明公开了一种碲锌镉像素探测器电极的钝化方法，用于对碲锌镉像素探测器电极进行钝化，降低漏电流。
所述方法首先采用CdZnTe晶体，进行线切割，研磨、机械抛光、清洗后在2％Br-MeOH中化学抛光，得到待用的CdZnTe晶片。
然后将经机械抛光和化学抛光的CdZnTe晶片通过清洗、涂胶、烘干、曝光、显影、真空蒸镀电极和剥离等工艺，制备出像素探测器电极。
然后放入RIE-3型反应离子刻蚀机中抽真空，真空度为0.3333～0.3999Pa；调节氧气流量为70～80cm3/min；调节工作气压为0.5～1.0Pa；调节射频功率为8～12W；刻蚀时间为35～50min。
通过上述步骤CdZnTe像素探测器电极间的CdZnTe表面生成致密氧化物薄膜，漏电流减小了一个数量级，达到了钝化目的。