[01186171]新型透明导电薄膜的制造方法及应用

本成果提出了一种新型的透明导电薄膜的制造方法,主要应用领域触控与显示、薄膜太阳能电池、OLED透明电极、柔性电子等领域。可替代现有行业采用的ITO（氧化铟锡）透明导电材料,突破了ITO材料应用上的诸多极限。 现有ITO材料从诸多方面已经无法满足行业应用的需求：ITO的方阻值在150-1000欧/方,透过率为85%。以PET基材的ITO材料的阻值基本在100欧/方,而玻璃基可以通过增加ITO的镀膜厚度来降低方阻,即使能都获得50欧/方以下的阻值,但是由于镀膜厚度增加,阻值的均匀性很难控制,存在良率低、品质不稳定的技术瓶颈,薄膜厚度同时会影响透过率,则无法兼顾导电方阻和透过率的要求。同时,还需要进行表面消影处理。均极大的增加的应用成本。此外,ITO材料易脆,无法满足柔性和曲面的触控界面的需求。因此,ITO材料本身的特性限制了其往大尺寸触摸领域的应用。并且,从国家工业发展来看,ITO的黄光蚀刻工艺还将存在研制的环境污染问题。 本项目则提出了采用埋入式纳米银微金属网格图形形成导电电路,微网格尺度在2um～5um,透光率大于87%;采用纳米银作为导电材料,导电方阻可以小于10欧方;基于纳米压印凹槽结构的埋入式导电电路,如有柔性好,附着强等可靠性优势。综合工艺与结构具有环保、高性价比的显著优势。 为了制备新型透明导电薄膜,突破了一系列的关键技术难题,包括：大幅面微纳米结构图形的高速光刻以及海量数据的图像处理难题,大幅面卷对卷UV纳米压印制程中的材料表面硬度与摩擦系数的精确控制工艺、大面积导电区域的纳米银填充与透光区的材料去除工艺、大面积高精度贴合工艺等。 成果已经实现了在大尺寸电容触控屏上的产业化应用,通过行业的WIN8 认证,在知名品牌终端应用。并成功开发了55寸的大尺寸电容式触控传感器电路,未来可以实现在110寸的超大尺寸触控屏应用。应用领域包括智慧教育、远程医疗、智能家居等,作为互联网+时代的智能硬件终端,具有数百亿元的广阔前景。