[01175646]弧形栅场板电流孔径功率器件
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技术详细介绍
本发明公开了一种弧形栅场板电流孔径功率器件,主要解决现有垂直功率器件中场板结构无法有效调制器件中电场分布的问题。其包括：衬底（1）、漂移层（2）、孔径层（3）、二级台阶形的电流阻挡层（4）、沟道层（6）、势垒层（7）和钝化层（12）,沟道层和势垒层的两侧刻蚀有凹槽（8）,凹槽中淀积有源极（9）,源极之间的势垒层上淀积有栅极（10）,电流阻挡层之间形成孔径（5）,衬底下淀积有漏极（11）,钝化层包裹除漏极底部以外的所有区域,钝化层两边刻有弧形台阶（13）,弧形台阶处淀积有金属,形成弧形场板（14）,该弧形场板与栅极电气连接。本发明击穿电压高、工艺简单、导通电阻小、成品率高,可用于电力电子系统。