[01174970]浮空栅-漏复合场板垂直型电力电子器件
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技术详细介绍
本发明公开了一种浮空栅-漏复合场板垂直型电力电子器件,其自下而上包括：肖特基漏极（13）、衬底（1）、漂移层（2）、孔径层（3）、两个对称的电流阻挡层（4）、沟道层（6）、势垒层（7）、帽层（8）和栅极（10）;两个电流阻挡层（4）之间形成孔径（5）,势垒层上两侧淀积有两个源极（12）,两个源极下方有两个注入区（11）,除肖特基漏极底部以外区域覆盖有钝化层（15）,其中：两侧钝化层内制作有浮空栅-漏复合场板（14）,浮空栅-漏复合场板由栅场板、漏场板、多个栅浮空场板和多个漏浮空场板构成,电流阻挡层采用二级阶梯结构。本发明击穿电压高、工艺简单、导通电阻小、成品率高,可用于电力电子系统。