[01136257]一种周期可调微机械光栅及其制作工艺
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技术详细介绍
本发明公开了一种周期可调微机械光栅及其制作工艺,属于微光机电（MOEMS）器件领域。该光栅的特征在于,其基底为玻璃、蓝宝石等绝缘透明材料。其制作工艺为：在基底表面淀积一层金属薄膜;在结构材料的一侧刻蚀出一定高度的锚点;两者通过锚点键合在一起,并将结构材料减薄至所需厚度;对结构材料进行刻蚀、释放形成结构层部分,形成光栅。因为该光栅的基底是完全透光的,当入射光入射到光栅上时,一部分反射产生反射式衍射光谱;另一部分通过光栅栅条之间的缝隙到达基底的前表面产生投射,因此能同时工作在反射及透射方式