[01131786]金属材料应用技术开发与研究--溅射靶材用钨钛合金板材制备技术研究

西安市科技计划项目金属材料应用技术开发与研究――溅射靶材用钨钛合金板材制备技术研究由西安理工大学和西部金属材料股份有限责任公司联合承担。本项目的研究目标是采用机械球磨方式混粉和真空热压烧结的方法制备溅射靶材用钨钛合金板材;利用各种测试分析手段,揭示合金组织与性能之间的关系以及球磨工艺、烧结温度、压力、时间对合金组织结构和性能的影响规律,为钨钛合金溅射靶材产业化提供实验和理论指导。该项目的实施取得了以下成果： （1）采用高能球磨湿磨混粉法能显著细化晶粒,并可形成W-Ti固溶粉末。此外,与干磨相比,湿磨方法的出粉率高,粉末分散均匀,还可以有效防止粉末氧化,保持粉料的纯净性。 （2）探明了真空热压烧结不同工艺参数对对烧结致密化行为影响的规律。采用低预压力烧结时,合金致密化速度慢,完全致密化过程时间较长,对应的加热温度较高;反之,采用大的预压力烧结时,合金致密化速度快,完全致密化过程时间较短,对应的加热温度较低。 （3）对钨钛合金板材的分析测试,其成分、密度、表面粗糙度及组织性能均满足使用要求。 本项目摒弃了先烧结,后锻造,最后轧制的工艺路线,创新的提出采用粉末直接热压烧结一次成形的新工艺。简化了钨钛合金板材的制备工艺,同时由于热压烧结过程混合粉末加热的同时施加一定的外压力,并经过一定时间压制成形,可显著提高钨钛合金的致密度和降低烧结温度,可以在较低温度下制备出组织致密均匀的溅射靶材用钨钛合金板材。