[01124345]高线性度毫米波器件及其制作方法
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技术详细介绍
本发明公开了一种高线性度毫米波器件及其制作方法,主要解决现有器件跨导的线性度差的问题。其器件自下而上包括衬底层（1）、成核层（2）、缓冲层（3）、第二沟道区（4）、背势垒层（5）、第一沟道区（6）、插入层（7）和势垒层（8）,势垒层上刻蚀有深度至背势垒层的凹槽,凹槽的内壁和势垒层上设有增强沟道区（9）;增强沟道区上设有导电帽层（10）;导电帽层上两端设置源电极（11）和漏电极（12）;凹槽内导电帽层上刻有槽栅;槽栅内壁和导电帽层上除源电极和漏电极外的区域设有钝化层（13）;槽栅内的钝化层上设置T型栅电极（14）。本发明拓宽了跨导峰值范围,提高了跨导的线性度,可用于通讯、导航和雷达、基站系统。