[00110786]曝光装置
交易价格：
面议
所属行业：
通用零部件
类型：
专利
技术成熟度：
正在研发
专利所属地：中国
专利号：200580019656.7
交易方式：
技术转让
联系人：
东北大学
进入空间
所在地：辽宁沈阳市
- 服务承诺
- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
本发明提供一种对扭转振动的阻力及共振频率高的架构件。能够得到架构件及包括该架构件的曝光装置,所述架构件具有蜂窝结构体,所述蜂窝结构体具备方形柱状的空隙部,且配置为构成该空隙部的壁与扭转变形的方向垂直。架构件的蜂窝结构体优选由陶瓷构成。
本发明提供一种对扭转振动的阻力及共振频率高的架构件。能够得到架构件及包括该架构件的曝光装置,所述架构件具有蜂窝结构体,所述蜂窝结构体具备方形柱状的空隙部,且配置为构成该空隙部的壁与扭转变形的方向垂直。架构件的蜂窝结构体优选由陶瓷构成。
