[00110425]基板热处理炉
交易价格：
面议
所属行业：
金属合金冶炼铸造
类型：
专利
技术成熟度：
正在研发
专利所属地：中国
专利号：200810149005.5
交易方式：
技术转让
联系人：
东北大学
进入空间
所在地：辽宁沈阳市
- 服务承诺
- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
本发明提供一种通过加热处理能够高效地分解在排出的热风中含有的有机物的基板热处理炉。通过向炉体主体部(10)的内部吹出热风,对玻璃基板(W)进行加热处理。从炉体主体部(10)排出的热风经由循环路径(20)再次返回炉体主体部(10)。在该路径中途,将热风的一部分排出至排气管道(23)。在排气管道(23)设置有在金属过滤器上担载催化剂而构成的催化剂过滤器部(71)。由此,被排出的热风与催化剂之间的接触效率变高,能够提高有机物的分解效率。而且,也能够捕集微粒状的有机物,从而能够提高总体上的有机物的分解效率。
本发明提供一种通过加热处理能够高效地分解在排出的热风中含有的有机物的基板热处理炉。通过向炉体主体部(10)的内部吹出热风,对玻璃基板(W)进行加热处理。从炉体主体部(10)排出的热风经由循环路径(20)再次返回炉体主体部(10)。在该路径中途,将热风的一部分排出至排气管道(23)。在排气管道(23)设置有在金属过滤器上担载催化剂而构成的催化剂过滤器部(71)。由此,被排出的热风与催化剂之间的接触效率变高,能够提高有机物的分解效率。而且,也能够捕集微粒状的有机物,从而能够提高总体上的有机物的分解效率。
