[01065950]微纳米切削加工理论与关键技术
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技术详细介绍
该项目组在微纳切削加工理论基础及相关关键技术方面进行了深入的研究，提出了纳米加工时刀具刃口“临界钝圆半径”的概念，建立了基于原子力显微镜（AFM）的微纳米加工系统及其表面质量完整性评价与预报体系；开展了多场耦合作用下的磁流变抛光技术、砂轮在线电解修整（ELID）超精密磨削技术；自行研制的刀具刃磨机可研磨出小于10nm刃口锋利度的金刚石刀具；研制出的超低频隔振动系统技术指标为垂直方向隔振优于0.75Hz，水平方向优于0.5Hz；研制出了多台加工精度可达0.2um/100mm、表面粗糙度优于10nm的超精密加工装备等等。